隨著(zhù)微電子行業(yè)的蓬勃發(fā)展,越來(lái)越多的潔凈室行車(chē)投入使用,該類(lèi)設備的檢驗需求量也越來(lái)越大,總結了潔凈室的主要標準和對空氣潔凈度的基本要求,歸納了潔凈室起重機相對于常規起重機在配置方面的特點(diǎn)。潔凈室起重機定期檢驗有利于更好地完成該類(lèi)設備的正常工作。
常規起重機在使用過(guò)程中會(huì )不同程度地產(chǎn)生固體顆粒物和靜電吸附塵埃等,滿(mǎn)足不了潔凈室相關(guān)法律法規要求。國內外起重機生產(chǎn)廠(chǎng)家對起重機的車(chē)輪與軌道、吊鉤、起升機構、集電裝置和供電系統等方面進(jìn)行改進(jìn),采用防塵材料、防塵防靜電涂裝,進(jìn)行防塵罩、結構封閉等防塵設計。開(kāi)發(fā)出滿(mǎn)足潔凈室使用要求的潔凈室起重機。
潔凈室行車(chē)的檢驗需要在潔凈室環(huán)境中進(jìn)行。進(jìn)入潔凈室前要通過(guò)人員凈化、物料凈化用室和設施,并且要換裝防塵服、防塵靴。檢驗實(shí)施流程也應做出相應調整。
現場(chǎng)檢驗前的準備:
1)檢驗儀器設備。檢驗前要和受檢單位確定儀器設備的使用方案,如果使用自帶儀器,則需要提前聯(lián)系確定好儀器的凈化方案,如果自有儀器不便帶入潔凈室,則需要受檢單位提供相應的可在潔凈室中使用的儀器設備。
2)防護用品。如果自帶的防護用品達不到進(jìn)入潔凈室要求,也需要受檢單位提供
3)原始記錄。普通紙張不可帶入潔凈室,受檢單位應提供潔凈室中使用的無(wú)塵紙和筆。
4)防塵服裝。受檢單位應提供檢驗人員的防塵服、防塵靴、口罩、頭套等防塵服裝。
5)進(jìn)入潔凈室相關(guān)手續。由于潔凈室的管理要求相對較多,檢驗人員應提前和受檢單位聯(lián)系,辦理好相關(guān)手續。